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真空度測(cè)試儀簡(jiǎn)介
真空度測(cè)試儀是真空滅弧室的真空度的鑒定設(shè)備。經(jīng)西安高壓電器研究所檢驗(yàn)并出具合格證書。是目前國(guó)內(nèi)能wei一的真實(shí)檢測(cè)真空含量的少數(shù)ping牌之一。它以單片計(jì)算機(jī)為主控單元,測(cè)試過程*實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該儀器在原理上改變了國(guó)內(nèi)外同類產(chǎn)品采用電流峰值做標(biāo)定的方法,而采用離子電荷來做標(biāo)定。這樣,在物理原理上準(zhǔn)確性更高,而且,有效地抑制了測(cè)試過程中脈沖電源的干擾,使測(cè)試穩(wěn)定可靠。該儀器采用二次采樣的方法扣除由于環(huán)境因素產(chǎn)生的漏電電流,并且在測(cè)量過程中考慮了*漏氣的真空滅弧室的判別,真正做到了對(duì)安裝于整機(jī)上的真空滅弧室的準(zhǔn)確計(jì)量。目前,該儀器中已存有35條真空滅弧室的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)曲線,涵蓋了國(guó)內(nèi)外絕大多數(shù)管型。該儀器質(zhì)量過硬,性能可靠,造形美觀,使用方便。
真空度測(cè)試儀性能特點(diǎn):
真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn):在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料一定時(shí),真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系,而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)間接關(guān)系。因此,我公司sou創(chuàng)了基于電離電荷的采樣技術(shù),顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。
本機(jī)另外對(duì)測(cè)試電壓輸出應(yīng)用了兩個(gè)檔位(高壓3萬低壓2.5),因此可對(duì)高低壓不同的各類管型時(shí)行有效測(cè)試。
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵(lì)電源一定時(shí),其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測(cè)量,對(duì)每一種真空滅弧室必須有對(duì)應(yīng)的從電離電荷量到真空度推算曲線。我公司的專家通過與國(guó)內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,取得了幾乎國(guó)內(nèi)外所有真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過數(shù)學(xué)處理,將其特征參數(shù)送入本系列產(chǎn)品。因此,本系列產(chǎn)品內(nèi)置國(guó)內(nèi)外幾乎所有真空滅弧室的測(cè)量曲線。這是國(guó)內(nèi)外同類產(chǎn)品中jie無僅有的。
對(duì)處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室動(dòng)觸頭加高壓靜觸頭端加負(fù)離子電流時(shí),靜觸頭端會(huì)有數(shù)值不等的幾個(gè)微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號(hào)的真空滅弧室也有較大的個(gè)體差異。尤其是對(duì)于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測(cè)性。并且在數(shù)值上與10E—4Pa數(shù)量級(jí)的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用二次起動(dòng)高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
在本型機(jī)中,通過高壓擊穿的方式判別真空滅弧室是否*漏氣。
當(dāng)真空滅弧室的真空度非常低時(shí),測(cè)量時(shí)真空滅弧室會(huì)被高壓擊穿,瞬間的高壓直接加至負(fù)離子電流采樣電路上,使其承受十分強(qiáng)的電沖擊。采樣電路增加了完備的保護(hù)電路,即使儀器由于輸入端的高壓直接加到負(fù)離子電流采樣端居第yi時(shí)間,微電腦保護(hù)裝置會(huì)立即起控,使其進(jìn)入保護(hù)狀態(tài),就不會(huì)造成電路嚴(yán)重的損壞。
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第三章 真空度測(cè)試儀測(cè)試原理
利用離子電流在不同真空條件下的漏電流不同,來測(cè)試鑒別真空滅孤室優(yōu)劣。
將滅弧室兩觸頭拉開一定的開距,動(dòng)觸頭施力高壓脈沖靜觸頭施加負(fù)離子電流。由于漏電電流非常弱,易于受到外界不同的干擾而降低精度。因此,必須通過勵(lì)磁線圈繞于滅弧室外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)來,加速離子流,按比例放大采樣率。這樣,在脈沖磁場(chǎng)的作用下,滅弧室中的電子作螺旋運(yùn)動(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于直徑不同的真空管,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同。通過實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測(cè)知離子電流后,調(diào)用內(nèi)部相對(duì)應(yīng)的比例參樣,加以精確運(yùn)算,得出準(zhǔn)確真實(shí)真空度值。也就是說通過查詢?cè)摴苄偷碾x子電流——真空度曲線獲得該管型的真空度,這一過程由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成。
第四章 真空度測(cè)試儀技術(shù)參數(shù)